光刻機(jī)是是制造芯片的核心裝備，泰睿思是國內(nèi)專注長期專注于集成電路封裝與測試業(yè)務(wù)的半導(dǎo)體公司。業(yè)界通常把集成電路/芯片的制造稱為前道工藝，封裝稱為后道工藝，所以制造芯片用光刻機(jī)也被稱為前道光刻機(jī)，封裝用光刻機(jī)則被稱為后道光刻機(jī)。
光刻機(jī)采用氮氣校準(zhǔn)方法則是緩慢向晶圓表面通入氮氣，運用伯努利方程，分析測量點與氮氣入口壓差分析表面形貌。
“光刻機(jī)里有一個激光腔，激光腔體內(nèi)要通入稀有的混合氣體，利用稀有氣體電離激發(fā)出一種特定波長和能量的激光。"“光刻機(jī)再使用激光，去除芯片表面的光刻膠涂層，在芯片表面形成線寬為納米級的特定的電路圖案。"
光刻混合氣是非常復(fù)雜且高精度的產(chǎn)品，一般一種光刻氣中會含有4—5種組分氣體。傅鑄紅解釋，在光刻機(jī)制造過程中，需要用激光來加工芯片表面，讓激光波長和能量長時間保持穩(wěn)定，如果氣體純度不夠或配比不精準(zhǔn)，就會導(dǎo)致激光能量時高時低或不持續(xù)，“這必然影響光刻效果。
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