多傳感器技術(shù)的新進(jìn)展 幾分鐘內(nèi)測量一百萬個(gè)微孔

得益于高清掃描技術(shù)，在測量玻璃通孔 (TGV)* 時(shí)，測量速度達(dá)到了的高水平。Werth 的多傳感器測量方案能夠全面捕捉各種幾何特性。

Werth 多傳感器測量概念非常適合測量電子、精密機(jī)械和光學(xué)行業(yè)的零件。例如，它可以測量可用面積為 600 毫米 x 600 毫米、最多可容納 100 萬個(gè)極小孔的穿孔玻璃板（玻璃通孔 - TGV）。

然后將不同的圖案分離、金屬化，并用于封裝，即芯片制造中的電路堆疊。測量孔的位置、直徑（≤ 100 µm）、形狀和方向的精度必須達(dá)到 100%。此外，還必須確定玻璃板的平整度和厚度。

測量的技術(shù)挑戰(zhàn)在于需要結(jié)構(gòu)分辨率來捕捉數(shù)量眾多的微孔的直徑和形狀；檢測需要比傳統(tǒng)圖像處理更高的測量速度。

Werth Fiber Probe，配備 20 µm 傳感球，用于測量 40 µm 孔徑

VideoCheck HA Werth 專為測量公差在微米級的精密零件而設(shè)計(jì)。其 Rasterscanning HD （高清光柵掃描）操作模式能夠自動(dòng)掃描具有微小幾何特征的大面積區(qū)域，并保持高精度，滿足對分辨率和測量速度的要求。最終生成的圖像分辨率高達(dá) 2000 萬像素。

在不到 15 分鐘的時(shí)間內(nèi)，即可連續(xù)測量和評估一百萬個(gè)微孔的位置、直徑和形狀。因此，Rastercanning HD 的速度比傳統(tǒng)測量方法快數(shù)倍。

Werth 擁有豐富的傳感器產(chǎn)品線，能夠以高速度進(jìn)行全面測量。Werth 的Fiber Probe 光纖探針是測量不同鉆孔高度下形狀偏差的理想選擇，其玻璃探針球（直徑 ≥ 20 µm）使其成為世界上性能強(qiáng)勁的探針。

此外，色差聚焦點(diǎn)傳感器還用于測量玻璃板（玻璃厚度≥200 µm）的厚度和平整度。該傳感器通過反射光的顏色來確定距離，因此即使在測量層厚時(shí)，也能對反射面和透明表面進(jìn)行測量。

VideoCheck HA 具有高清掃描和多個(gè)傳感器，可在幾分鐘內(nèi)分析 100 萬個(gè)微穿孔。